生長和石墨烯轉(zhuǎn)移到硅的一步法

2013年12月12日

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一步法生長和轉(zhuǎn)移高質(zhì)量石墨烯在硅和其他硬基質(zhì)在新加坡了。

發(fā)展,從一個研究小組在新加坡國立大學(新加坡國立大學)教授領導的Loh Kian平,可能導致使用石墨烯在高價值的應用程序目前不是在技術上可行。

這個突破,受到甲蟲和樹蛙如何保持腳附加到水下葉子,聲稱是第一個出版技術,實現(xiàn)石墨烯的生長和轉(zhuǎn)移步驟硅片。

這種技術使石墨烯的技術應用在光學和電子產(chǎn)品,設備如光電調(diào)節(jié)器、晶體管、芯片上的生物傳感器和隧道壁壘。

創(chuàng)新是第一個在線發(fā)表在《自然》雜志上。

石墨烯具有良好的電子、光學和機械性能,以及它的使用作為觸摸屏面板的透明導電薄膜的電極。高品質(zhì)的wafer-scale石墨烯薄膜的生產(chǎn)是困擾許多挑戰(zhàn),其中是缺乏技術發(fā)展和轉(zhuǎn)移石墨烯用于半導體工業(yè)用最小的缺陷。

Loh教授在一份聲明中說:“盡管有許多潛在應用靈活的石墨烯,我們必須記住,到目前為止,大多數(shù)半導體硅和石英等“硬”基質(zhì)。

石墨烯薄膜在硅晶片的直接增長對啟用多個光電應用程序很有用,但是目前的研究成果仍然是建立在概念驗證階段。轉(zhuǎn)移方法服務細分市場肯定是需要的,和被忽視了炒作的靈活的設備。”

為了解決當前的技術差距,全國學生聯(lián)合會Loh教授領導的研究小組把他們的線索從甲蟲和樹蛙保持腳完全淹沒的葉子,和發(fā)展這一過程被稱為面對面的轉(zhuǎn)移。

高荔波、博士論文的第一作者和研究石墨烯研究中心在新加坡國立大學理學院,生長石墨烯在銅催化劑層涂層硅襯底。

增長后,銅蝕刻掉,而石墨烯是一個泡沫,形成毛細管橋梁,類似于看到甲蟲和樹蛙的腳在水下葉子。

毛細管橋梁幫助保持石墨烯在硅表面并防止其分層的蝕刻銅催化劑。石墨烯然后連接到硅層。

促進毛細血管的形成橋梁,注入氣體預處理步驟涉及到晶片被高博士應用。這有助于修改接口的屬性和促進毛細血管的形成橋梁在catalyst-removal液體的滲透。表面活性劑的co-addition有助于消除任何可能的折疊和皺紋在轉(zhuǎn)移過程中創(chuàng)建的。

這部小說生長石墨烯技術直接在硅片和其他硬底物將是非常有用的迅速發(fā)展的新興graphene-on-silicon平臺,它顯示一個有前途的應用范圍。

“面對面的轉(zhuǎn)移”方法由新加坡國立大學團隊開發(fā)據(jù)說也適合batch-processed半導體生產(chǎn)線,如大規(guī)模集成電路硅片的制造。

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